高效过滤器的快速发展趋势是与国防工业生产和电子工业的发展趋势密不可分有关的。在第一次世界大战期内,因为高效过滤器各种各样有机化学毒剂的应用,以玻璃纤维棉除菌过滤器做为滤烟层的军工用防毒面罩应时而生。玻纤过虑物质用以空气净化于1940年十月在国外获得专利权。50年代,英国对玻纤除菌过滤器的生产工艺流程开展了深层次的科学研究,使高效过滤器获得了改进和发展趋势。六十年代,HEPA过滤装置面世;七十年代,选用超微粒玻纤除菌过滤器做为过虑物质的HEPA过滤装置,对0.13μm粒度的颗粒过滤效率达到99.9998%。八十年代至今,伴随着新的测试标准的出現、应用点评的提升及对过虑特性规定的提升,发觉HEPA过滤装置存有着比较严重的难题,因此又造成了特性高些的ULPA过滤装置。现阶段,世界各国仍在勤奋科学研究,估算没多久便会出現更优秀的高效过滤器。