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高效过滤器的更换
1.更换周期
①高效过滤器发生破损泄漏时：设备工程部应定期检测洁净室的悬浮粒子数，发现悬浮粒子数超标时，应边检查、边用环氧树脂硅胶堵漏，或紧固螺栓，直至无泄漏现象出现。若经检查，堵漏仍不能保证无泄漏发生，应对过滤器进行更换。
②每季定期检测风速一次，当高效过滤器风速降至0.32m/s以下时，应更换过滤器。
2.高效过滤器更换后，用尘埃粒子计数器对高效过滤器和安装连接处进行检漏。在扫描巡检的同时，紧固螺栓或用环氧树脂硅胶堵漏。
3.高效过滤器的检测、更换应及时记录。
4.高效过滤器更换后，应进行洁净度测试。
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